性能特點 性能介紹 工藝介紹 應用介紹 應用領域 相關分類

性能特點

● 大流量化学品的稳定输送
● 流量、压力、温度等的稳定控制
● 化学品来料浓度实时验证
● 双系统设计,使产能最大化
● 全自动系统及设备供应管线冲洗
● 可以客制化,占地面积小
● 符合Semi S2要求

性能介紹

我司基于合作夥伴數十年半導體的流體輸送經驗和技術,根據對壓力、溫度和流量等的精准控制而制定的全面方案,實現化學品和氣體穩定的、安全可靠的輸配。TITAN?産品廣泛應用在世界前十大半導體公司中。我司與合作夥伴的合作,旨在實現國外先進工藝機台的本土化生産,引進世界上最先進的技術産品,爲客戶提供最便捷的技術支持和售後服務。

工藝介紹

TITAN?可以將互爲備用的化學容器中的原料輸送到客戶使用的大容器(比如340L)中。從化學品進料到使用區域的壓力,該系統均可很精准的控制。對于TITAN?系列而言,系統流量監控、過濾器前後的壓力監控、以及化學品進料的確認等都是標准配置。

應用介紹

●光刻顯影液混配和輸送
●濕法清洗和蝕刻液混配和輸送
●化學機械研磨混配和輸送
●廠務化學品輸送
●研發部門化學品的實驗,混配和輸送
應用領域
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