性能特點 性能介紹 工藝介紹 應用介紹 應用領域 相關分類

性能特點

● 化学品实时高精准混配
● 化学品实时分析和自动补液
● 高度集成实时监测系统,检测温度、压力、流量等
● 可以客制化,占地面积小
● 通过此装置可以提高化学品的纯度
● 符合Semi S2要求

性能介紹

我司基于合作伙伴有数十年的半導體化学品精准在线混配经验和技术,其生产的混配设备精度可以做到+/-0.001%(针对23L/min的流体)。另外,我们的合作伙伴在化学品提纯方面也颇有造诣。 FUSION?产品广泛应用在世界前十大半導體公司中。我司与合作伙伴的合作,旨在实现国外先进工艺机台的本土化生产,引进世界上最先进的技术产品,同时为客户提供最便捷的技术支持和售后服务。

工藝介紹

以我们合作伙伴最畅销的产品之一MCBS为例,它是按照客户的混配比例要求,将提供的化学品和 UPW按重量或体积而精准混配的一种设备。该系统本身对于温度和压力控制就很稳定,加上设备整合了适合化学品性能的测量装置和传感器,通过PID控制来确保每种化学品的在线或tank式的精准混配,最终将混合液转移到Day tank中。

應用介紹

●Litho工艺 浓缩TMAH稀释,混配和输送
●WET工艺 化学品的现场提纯(如:H2O2提纯)
●CMP工艺 研磨液与H2O2精准混配和输送
●PVD工艺 电镀液的精准混配和输送
●Facility廠務段各種化學品的混配和輸送
●WET工藝液體化學品中O2的去除或在液體化學品中加DIO3等
應用領域
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